細部にこだわり、徹底した合理設計。

基本的機能の向上を図っています。

超純水供給におけるノンパーティクル化は、重要な課題の一つです。
ノンタッチ式節水機構が、次世代の洗浄工程を可能にしました。

右記のテスト結果より、従来型とノンタッチ型を比較すると、ノンタッチ型のほうがよりパーティクルの発生を押さえていることがわかります。従来型ではエアー弁の作動による衝撃でパーティクルが発生すると考えられます。

1. 各エアー弁は、フラッシングを充分行った後テストに入る。（通水状態で1000回作動）
2. 図1に示す回路において通水状態で各120回(ON 2.5sec, OFF 2.5sec) 作動させパーティクルの発生量をカウント積算する