製品紹介

特長

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細部にこだわり、徹底した合理設計。

基本的機能の向上を図っています。

超純水供給におけるノンパーティクル化は、重要な課題の一つです。
ノンタッチ式節水機構が、次世代の洗浄工程を可能にしました。

 


 

パーティクルの発生を押さえる独自の節水機構

 

右記のテスト結果より、従来型とノンタッチ型を比較すると、ノンタッチ型のほうがよりパーティクルの発生を押さえていることがわかります。従来型ではエアー弁の作動による衝撃でパーティクルが発生すると考えられます。

テスト結果
パーティクルサイズ/個数
0.1〜
0.2μ
0.2〜
0.5μ
0.5μ
以上
バイパスレスタイプ
FV-7279-131P
1 1 0 0
2 0 0 0
バイパスタイプ
AV-7279-131PW
1 16 1 1
2 3 1 1
  1. 各エアー弁は、フラッシングを充分行った後テストに入る。(通水状態で1000回作動)
  2. 図1に示す回路において通水状態で各120回(ON 2.5sec, OFF 2.5sec) 作動させパーティクルの発生量をカウント積算する

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流量特性表

 

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注)
※0点:当バルブが非動作状態で1次側に流体圧力を2.5kg/cm2 かけ、2次側に流量が発生し始める調節ポイントを0点とする。
※ΔP=差圧(P1ーP2)
 注)
※0点:当バルブが非動作状態で1次側に流体圧力を2.5kg/cm2 かけ、2次側に流量が発生し始める調節ポイントを0点とする。
※ΔP=差圧(P1ーP2)