一次側の圧力を一定に制御する
高精度流体圧力コントロールバルブです。
一次側の圧力は操作エアー圧力により設定できます。
| 耐圧 | ：IN・OUT共に0.3MPa |
|---|
| 流体温度 | ：10〜90℃ |
|---|
| バルブサイズ | ：□65, ○90, ○130 |
|---|
| 継⼿サイズ | ：1/4”, 3/8”, 1/2”, 3/4”, 1” |
|---|
| 推奨流量範囲 | ：0.4L/min〜45L/minに対応 |
|---|
型式選定表
仕様
| オリフィス [mm] | φ9.6 相当 | ||
|---|---|---|---|
| 接続チューブサイズ [mm] | 6.35×9.53 | 8×10 | |
| 推奨流量範囲 [L/min]H2O | 2 ～ 10 | ||
| 流体圧力 | 一次側圧力 [MPa] | 0 ～ 0.5 | |
| 二次側圧力 [MPa] | 0 ～ 0.5 | ||
| 流体 | 超純水 ・ 腐食性流体 (接液部材質を侵さないもの) | ||
| 流体温度 [℃] | 10 ～ 90 | ||
| 雰囲気温度 [℃] | 0 ～ 40 | ||
| 操作エアー圧力 [MPa] | 0.1 ～ 0.3 | ||
| 接液部材質 | 耐食性プラスチック | ||
外形寸法図（unit : mm）
HIBV-065CB＊-131P
Fig. 1 二次側圧力に対する一次側圧力
測定条件：オリフィス(一次側負荷)Φ3, 負荷前圧力500[kPa]
Fig. 2 二次側圧力に対する流量特性
測定条件：オリフィス(一次側負荷)Φ3, 負荷前圧力500[kPa]
Fig. 1，2 試験回路
Fig. 3 操作エアー圧力に対する一次側圧力
測定条件：オリフィス前圧力500[kPa], 二次側開放
Fig. 4 操作エアー圧力に対する流量特性
測定条件：オリフィス前圧力500[kPa], 二次側開放
Fig. 5 流量に対する一次側圧力
測定条件：オリフィス(一次側負荷)Φ3, 二次側開放
Fig. 3，4，5 試験回路
型式選定表
仕様
| オリフィス [mm] | φ15 相当 | ||
|---|---|---|---|
| 接続チューブサイズ [mm] | 9.53×12.7 | 10×12 | |
| 推奨流量範囲 [L/min]H2O | 5 ～ 20 | ||
| 流体圧力 | 一次側圧力 [MPa] | 0 ～ 0.5 | |
| 二次側圧力 [MPa] | 0 ～ 0.5 | ||
| 流体 | 超純水 ・ 腐食性流体 (接液部材質を侵さないもの) | ||
| 流体温度 [℃] | 10 ～ 90 | ||
| 雰囲気温度 [℃] | 0 ～ 40 | ||
| 操作エアー圧力 [MPa] | 0.1 ～ 0.3 | ||
| 接液部材質 | 耐食性プラスチック | ||
外形寸法図（unit : mm）
HIBV-090CB＊-131P
Fig. 1 二次側圧力に対する一次側圧力
測定条件：オリフィス(一次側負荷)Φ4, 負荷前圧力500[kPa]
Fig. 2 二次側圧力に対する流量特性
測定条件：オリフィス(一次側負荷)Φ4, 負荷前圧力500[kPa]
Fig. 1，2 試験回路
Fig. 3 操作エアー圧力に対する一次側圧力
測定条件：オリフィス前圧力500[kPa], 二次側開放
Fig. 4 操作エアー圧力に対する流量特性
測定条件：オリフィス前圧力500[kPa], 二次側開放
Fig. 5 流量に対する一次側圧力
測定条件：オリフィス(一次側負荷)Φ4, 二次側開放
Fig. 3，4，5 試験回路
型式選定表
仕様
| オリフィス [mm] | φ15 相当 | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| 接続チューブサイズ [mm] | 15.88×19.05 | 16×19 | 22.23×25.4 | 22×25 | |
| 推奨流量範囲 [L/min]H2O | 5 ～ 55 | ||||
| 流体圧力 | 一次側圧力 [MPa] | 0 ～ 0.3 | |||
| 二次側圧力 [MPa] | 0 ～ 0.3 | ||||
| 流体 | 超純水 ・ 腐食性流体 (接液部材質を侵さないもの) | ||||
| 流体温度 [℃] | 10 ～ 90 | ||||
| 雰囲気温度 [℃] | 0 ～ 40 | ||||
| 操作エアー圧力 [MPa] | 0.1 ～ 0.25 | ||||
| 接液部材質 | 耐食性プラスチック | ||||
外形寸法図（unit : mm）
HIBV-130CB＊-131P (接続チューブサイズ : 15.88×19.05, 16×19)
HIBV-130CB＊-131P (接続チューブサイズ : 22.23×25.4, 22×25)
HIBV-130CB＊-131P
Fig. 1 二次側圧力に対する一次側圧力
測定条件：オリフィス(一次側負荷)Φ6, 負荷前圧力500[kPa]
Fig. 2 二次側圧力に対する流量特性
測定条件：オリフィス(一次側負荷)Φ6, 負荷前圧力500[kPa]
Fig. 1，2 試験回路
Fig. 3 操作エアー圧力に対する一次側圧力
測定条件：オリフィス前圧力500[kPa], 二次側開放
Fig. 4 操作エアー圧力に対する流量特性
測定条件：オリフィス前圧力500[kPa], 二次側開放
Fig. 5 流量に対する一次側圧力
測定条件：オリフィス(一次側負荷)Φ6, 二次側開放
Fig. 3，4，5 試験回路
